RTS-1345型全自動四探針測試系統(tǒng)

可對樣品進行單點、五點、九點、多點、直徑掃描、面掃描等模式的全自動測試；

屏蔽測試，*消除光線對樣品測試的影響，保證測量的準確性；

吸附測試，*消除全自動測試過程中樣品移動對測試的影響；

可不連接電腦使用進行單點、中心五點、邊緣五點測試并把測試結果同時顯示于顯示屏；

 該儀器運用四探針測量原理的多用途綜合全自動測量設備。該儀器按照單晶硅物理測試方法國家標準并參考美國 A.S.T.M 標準而設計的，于測試半導體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的儀器.

儀器由主機、測試臺、四探針探頭、真空泵、屏蔽罩、計算機等部分組成，測量數(shù)據(jù)既可由主機直接顯示，亦可由計算機控制進行全自動測試，然后把測試數(shù)據(jù)采集到計算機中加以分析，以表格、圖形方式統(tǒng)計分析顯示測試結果

 RTS-1345型四探針軟件測試系統(tǒng)是一個運行在計算機上擁有友好測試界面的用戶程序，通過此測試程序輔助使用戶簡便地進行各項測試及獲得測試數(shù)據(jù)并對測試數(shù)據(jù)進行統(tǒng)計分析。
 測試程序控制四探針測試儀進行測量并采集測試數(shù)據(jù)，把采集到的數(shù)據(jù)在計算機中加以分析，然后把測試數(shù)據(jù)以表格，圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看，還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中，讓用戶對數(shù)據(jù)進行各種數(shù)據(jù)分析

RTS-1345型全自動四探針測試系統(tǒng)測量范圍

 電阻率：0.0001～2000Ω.cm(可擴展)；  
 方塊電阻：0.001～20000Ω/□(可擴展)； 
 電導率：0.0005～10000 s/cm； 
 電阻：0.0001～2000Ω.cm；

可測晶片直徑Φ=200mm；

恒流源電流量程分為0.1mA、1mA、10mA、100mA四檔，各檔電流連續(xù)可調

數(shù)字電壓表量程及表示形式：000.00～199.99mV；　　　　
 分辨力：10μV；
 輸入阻抗：>1000MΩ；
 精度：±0.1% ；
 顯示：四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示；極性、超量程自動顯示；

四探針探頭基本指標

間距：1±0.01mm；
針間絕緣電阻：≥1000MΩ； 
機械游移率：≤0.3%；
探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm；
探針壓力：5～16 牛頓(總力)；

四探針探頭應用參數(shù)(見探頭附帶的合格證)

模擬電阻測量相對誤差
( 按JJG508-87進行) 0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字

整機測量大相對誤差(用硅標樣片：0.01-180Ω.cm測試)≤±5%

整機測量標準不確定度≤5%

測試模式連接電腦使用可對樣品進行單點、五點、九點、多點、直徑掃描、面掃描等模式的全自動測試，不連接電腦情況下可進行單點、中心五點、邊緣五點測試并把測試結果同時顯示于顯示屏。

消除測試過程中影響因素屏蔽和吸附測試，*消除光線和全自動測試過程中樣品移動對樣品測試的影響，保證測量的準確性。

標準使用環(huán)境

溫度：23±2℃；
相對濕度：≤65%；
無高頻干擾；
無強光直射；

PN-30型導電類型鑒別儀